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干式真空泵 A4X 系列
上海伯东德国 Pfeiffer 干式真空泵 A4X 系列适合半导体、光伏等腐蚀性强的行业，干式真空泵抽速从 160 到 1,700 m3/h 满足不同需求，特殊的耐腐蚀工艺设计保证干式真空泵 A4X 系列使用寿命大幅提高，有效降低了企业成本。
干式真空泵 A4X 系列核心优势：
耐腐蚀设计，使用寿命长
通过 Semi S2-0712 和 UL 61010 标准
特殊设计，避免真空泵发生爆裂或可冷凝物沉积
配置氮气吹扫阀，耐粉尘

干式真空泵 A4X 系列应用：
半导体：（蚀刻、PECVD、SACVD、ALD 等）
涂料行业：光伏和 LED
干式真空泵 A4X 系列技术参数：

干式真空泵 A4X 系列抽速：


 

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