上海伯东 Pfeiffer 复合轴承涡轮分子泵, 内部陶瓷轴承采用油润滑方式. 油润滑对比脂润滑主要优势如下：
1. 给轴承降温, 延长了分子泵的使用寿命
2. 减少轴承滚珠磨损
3. 清洗分子泵轴承, 避免污染物附着在轴承上
脂润滑不具备以上优点, 而且易残留, 容易导致分子泵的故障率高
上海伯东 HiPace 系列涡轮分子泵技术规格
型号 | 进气口 DN | 压缩比 | 极限真空 hPa | 抽速 l/s | |||||||||
N2 | He | H2 | Ar | N2 | He | H2 | Ar | ||||||
HiPace 10 | 25 | 3X106 | 3X103 | 3X102 | 2.5X108 | < 5X10-5 | 10 | 6 | 3.7 | 11.5 | |||
HiPace 80 | 40 /63 | 1X1011 | 1.3X107 | 1.4X105 | 1X1011 | < 5X10-10 | 67 | 58 | 48 | 66 | |||
HiPace 300 | 100 | 1X1011 | 1X108 | 9X105 | 1X1011 | < 5X10-10 | 260 | 255 | 220 | 255 | |||
HiPace 700 | 160 | >1X1011 | 3X107 | 14X105 | 1X1011 | < 5X10-10 | 685 | 655 | 555 | 665 | |||
HiPace 1200 | 200 | >1X108 | 2X104 | 6X103 | >1X108 | < 5X10-10 | 1250 | 1300 | 1100 | 1200 | |||
HiPace 2300 | 250 | >1X108 | 3X105 | 2X104 | >1X108 | < 5X10-10 | 1900 | 2000 | 1850 | 1800 | |||
极限真空为实验室理想值
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵 HiPace 系列获得 Semi S2, UL, CSA 和 Nema 12 认证. 特别适用于质谱分析, 电子显微术, 测量技术, 粒子加速和等离子体物理方面的应用. 除了用于分析, 真空工艺和半导体技术外, 还可用于真空镀膜, 研发以及工业领域.
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