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上海伯东代理进口高真空电子束蒸发系统, 薄膜均匀性：≤?2％, 助力科研创新！
上海伯东代理高真空电子束蒸发系统, 薄膜均匀性：≤?2％, 喜获高校订单, 助力科研创新, 适用于光学材料研究 (LED / Laser Diode), 光电元件, 半导体元件.

高真空电子束蒸发系统 性能指标
基座可公转旋转, 最高转速20 rpm，5～20 rpm可调
乘载盘承载最大4英吋样品(可放小于4吋的样品或破片)
镀膜均匀性: 4英寸范围内薄膜厚度均匀性优于?2%
极限真空度优于 3 ? 10-7 Torr
抽气效率：atm to 3　?　10-6 Torr < 25min
                 atm to 5　?　10-7 Torr < 55min
电子束蒸发源 ? 1，坩埚容量：分子7 cc，坩埚数量4，自动旋转坩埚，电子束可扫描
6 kW电子束蒸发源电源 ? 1

上海伯东代理电子束蒸发镀膜设备 E-Beam Deposition Evaporation, 可针对量产使用单一坩埚也可以有多个坩埚来达到产品多层膜结构, 电子束蒸镀设备可以结合美国 KRi 离子源进行离子辅助沉积或者预清洁等功能. 满足客户实际应用!

若您需要进一步的了解详细产品信息或讨论 , 请参考以下联络方式 :

上海伯东 : 罗先生                               台湾伯东 : 王小姐
T: 86-21-5046-1322                   T: 886-3-567-9508 ext 161
F: 86-21-5046-1490                        F: 886-3-567-0049
M: 86 152-0195-1076                     M: 886-939-653-958
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