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上海伯东德国 Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251, 内置两个传感器, 测量范围 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蚀, 坚固耐用, PKR 251 作为标准配件广泛应用于各类真空设备中.
全量程真空计 PKR 251 应用于6寸碳化硅外延炉
上海伯东某客户生产 SIC 薄膜器件肖特基二极管和新能源汽车的 IGBT 器件. 选用真空规 PKR 251 测量 6寸碳化硅外延炉设备中的石英真空腔室的真空度. 经过实践认证, 真空计完全符合工艺要求..jpg)
Pfeiffer 全量程真空计 PKR 251 技术参数
型号 | 接口 | 测量范围 | 最大压力 | 准确度 | 可重复性 | 输出信号（测量信号） | 电源电压 |
PKR 251 | DN25 ISO-KF | 5X10-9 至 1000 hPa | 10000 hPa, | 在 1X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ? 30 % | 在 1 X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ? 5 % | 电压范围 | 在真空计处 |
上海伯东 Pfeiffer 德国普发真空产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品 20余年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.
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