技术

洁净室的分类形式

( 一 ) 乱流式


1)空气由空澗箱经风管与洁净室内的空气过滤器进人洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。


2)气流非直线塑运动，而呈不规則的乱流或涡流状态，


3 )此形式适用于洁净室等级为1000-100000级


4 )乱流式的优点


①构造简单。


②系统建造成本低。


③洁净室的扩充比较容易^


④在某些特殊用途场所。


⑤可并用无尘工作台D


⑥提高洁净室等级。


5)乱流式的缺点


①乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。


②若系统停止运转后再激活，欲达需求的洁净度.往往需耗时相当长的一段时间。


(2 )层流式层流式洁净室空气气流运动成一均匀的直线形。空气由覆盖率100% 的过滤器进人室内.并由髙架地板或两W隔墙板0 风。此形式适用于洁净室等级需求较髙的环境使用，一般其洁净室等级为1 -100级。(参考洁净室：iwuchen/)


( 二 ) 水平层流式


①水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃隨风向排出室


外，一般在下流侧污染较严重。


②水平层流式的优点：构造简单.运转后短时间内即可变成稳定^


③水平层流式的缺点：建造费用比乱流式高.室内空间不易扩充。


垂直层流式


①房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹。


②可得到较高的洁净度.在制造过程中或工作人员所产生的尘埃可快速推出室外而不


会影晌其他工作区域&


③垂直层流式的优点


a.弹性扩充容易。


b .运转开始短时间内即可达稳定状态。


c .不易为作业状态或作业人员所影响。


④垂直层流式的缺点


a.构造费用较高。


b .弹性运用空间困难。


c.頂的吊架相当占空间。


d.维修更换过滤器较麻煩。


(三) 复合式


复合式为将乱逋式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净的空气。


1)洁净隧道


①以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖，使洁净度等级提高至丨0 级以上，可节省安装运转费用.


②此形式需将作业人员的工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质.ULSI制程大都采用此种形式。


③洁净隧道的优点


a .弹性扩充容易。


b .维烽设备时可在维修区轻易执行。


2)洁净管道


①将产品流程经过的自动生产线包闱并净化处珲，将洁净度等级提至100级以上。


②因产品和作业员以及发尘环境相互隔离，少馕的送风即可得到良好的洁净度。


③可节省能猓.不需人工的自动化生产线为最适宜使用。


④药品、食品业界及半导体业界均适用.


3 )并装局部洁净室


①将洁净室等级10000?100000的乱淹洁净室内产品制程区的洁净度等级提高为10-1000级以上，为生产之用。


②洁净工作台、洁净工作棚，洁净风柜即属此类.


③洁净工作台洁净等级为1--100级。


④洁净工作拥洁净工作为在乱流式的洁净室空间内以防静电的透明塑料布围成小空间，采用独立的HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高级的洁净空间.其等级为10 - 1000级.高度在2. 5m左右，覆盖面积约10m3以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性运用。