附件1：
国家支持发展的重大技术装备和产品目录（2018年修订）
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
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一 | 大型清洁高效发电装备 |
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（一） | 核电机组（三代核电机组） |
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| 核岛设备：反应堆压力容 |
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| 器、蒸汽发生器、稳压器 |
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| 、反应堆堆内构件、控制 |
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1 | 棒驱动机构、主管道、数 | 百万千瓦级 | 持有合同订单 |
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| 字化仪控系统、安全壳、 |
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| 核燃料元件、乏燃料处理 |
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| 设备 |
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2 | 常规岛设备：汽轮机、汽 | 百万千瓦级 | 持有合同订单 |
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轮发电机 |
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3 | 核级泵：核主泵（反应堆 | 百万千瓦级 | 持有合同订单 | 2020 |
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冷却剂主泵） |
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4 | 核级阀：爆破阀 | 百万千瓦级 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
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（二） | 超超临界参数火电机组 |
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| 燃煤锅炉 | 输出功率：600MW级 | 持有合同订单 |
| 调整 |
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| 、1000MW级 |
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（三） | 燃气-蒸汽联合循环机组 |
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| 燃气轮机、汽轮机 | E级、F级、H级 | 持有合同订单 |
| 调整 |
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（四） | 大型水力发电成套设备 |
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| 水轮发电机组 | 额定容量≥700MW | 持有合同订单 | 2022 | 调整 |
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（五） | 大功率风力发电机（组）及其配套部件 |
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1 | 风力发电机（组）整机 | 单机额定功率≥3MW | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
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| 发电机为单机额定 | 发电机年销售量≥100 |
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| 功率≥3MW的整机配 | 2019 | 调整 |
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| 台 |
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| 套 |
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| 风力发电机（组）配套部 |
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| 变流器为单机额定 |
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2 | 件：发电机、变流器、齿 |
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| 轮箱 | 功率≥3MW的整机配 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
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| 套 |
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| 齿轮箱为单机额定 |
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| 功率≥3MW的整机配 | 持有合同订单 | 2019 | 新增 |
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| 套 |
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（六） | 太阳能发电设备 | * | * |
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二 | 超、特高压输变电设备 |
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（一） | 直流输变电设备 |
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| 直流换流变压器 | ?600kV及以上 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
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（二） | 交流输变电设备 |
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| 电力变压器、六氟化硫断 |
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| 路器、气体绝缘金属封闭 | 750kV及以上 | 持有合同订单 |
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| 开关设备（GIS）、串联 |
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| 补偿装置 |
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三 | 大型石油及石化装备 |
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（一） | 乙烯成套设备 |
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（二） | 混炼挤压造粒机组 | 年产量≥20万吨 | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
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（三） | 天然气管道运输和液化储运装备：燃压机组 |
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| 调整 |
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1
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
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| 长输管道燃驱压缩机组 | 30MW级及以上 | 持有合同订单 | 2020 |
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（四） | 油气钻采装备 |
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| 大型压裂装备（包括压裂 | 单机额定输出功率 |
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1 | 车/撬、混砂车/撬、管汇 | 持有合同订单 | 2020 |
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≥2500马力 |
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| 车/撬、仪表车等） |
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2 | 连续油管作业装备（机组 | 提升能力≥18吨 | 持有合同订单 | 2020 |
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/车／钻机） |
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| ||||
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3 | 不压井作业装备 | 提升能力≥70吨 | 持有合同订单 | 2020 |
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4 | 固井设备 | 最大输出压力≥ | 持有合同订单 | 2020 |
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70MPa |
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| ||||
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5 | 水下采油树 | 最大工作压力≥ | 持有合同订单 | 2020 |
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70MPa |
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| ||||
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（五） | DTC道路相变自调温材料 | 产量≥5万吨/年 | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
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| 混炼挤出成套装置 |
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四 | 大型煤化工设备 |
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| 大型空分设备及其空压机、增压机 |
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1 | 大型空分设备 | 氧气量≥80000Nm? | 持有合同订单 | 2020 |
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/h |
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| ||||
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2 | 大型空分设备用空压机和 | 配置氧量≥80000Nm | 持有合同订单 | 2020 |
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| 增压机 | ?/h的空分设备 |
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五 | 大型冶金成套设备 |
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（一） | 薄板连铸连轧成套设备 |
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| 带压辊的转向控制辊、轧 | 轧辊宽度≥ |
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| 机乳化液喷射装置、带钢 | 1400mm，产品厚度 | 持有合同订单 |
| 调整 |
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| 吹扫装置及防缠导板 | 0.18～2.0mm |
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（二） | 炉外精炼设备 |
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| 新增 |
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| 大抽气量罗茨真空 |
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| 泵单泵抽气量 |
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| 钢水真空循环脱气工艺干 | 46000Nm3/h，极限真 | 持有合同订单 |
| 新增 |
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| 式（机械泵）真空系统 | 空度5Pa；大抽气量 |
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| ||
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| ||
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| 螺杆真空泵抽气量 |
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| 2500Nm3/h |
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六 | 大型矿山设备 |
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（一） | 大型非公路矿用自卸车 |
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| 年销售量≥15台(额定 |
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1 | 电动轮非公路矿用自卸车 | 额定装载质量≥180 | 装载质量在220吨及以 | 2020 | 调整 |
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吨 | 上整机年销售量不做 |
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| ||
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| 要求) |
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2 | 机械传动非公路矿用自卸 | 额定装载质量≥90 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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车 | 吨 |
| ||||
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| ||
3 | 机械传动非公路矿用洒水 | 额定装载质量≥90 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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车 | 吨 |
| ||||
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| ||
（二） | 大型煤炭采掘设备 |
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| 矿山特种钻机车（用于煤 | 最大提升力≥ |
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1 | 层气、页岩气开采对接井 | 600kN,输出转矩 | 持有合同订单 |
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| 及矿山应急救援） | 12500～30000Nm |
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2
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
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| 巷道断面： |
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| 5200/4200?4200 |
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| mm |
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| 适应煤层硬度：≤ |
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| 80MPa |
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| 最大行驶速度： |
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2 | 护盾式掘锚机 | 12km/h | 持有合同订单 |
| 新增 |
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| 最小离地间隙： |
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| 256mm |
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| 接地比压：≤ |
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| 0.27MPa |
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| 截割能力：22t/min |
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| 装运能力：35t/min |
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（三） | 大型斗轮堆取料机、装卸船机等大型港口机械 |
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1 | 斗轮堆取料机 | 生产率≥8000吨/小 | 年销售量≥6台 |
| 调整 |
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时 |
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| ||||
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2 | 桥式抓斗卸船机、装船机 | 生产率≥2000吨/小 | 年销售量≥6台 |
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时 |
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| |||
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3 | 岸边集装箱起重机 | 按起重吨位≥40吨 | 年销售量≥10台 |
| 新增 |
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4 | 轨道式集装箱门式起重机 | 按起重吨位≥40吨 | 年销售量≥10台 |
| 新增 |
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七 | 大型船舶、海洋工程设备 |
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（一） | 大型海洋石油工程装备 |
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| 半潜式钻井平台 | 作业水深≥500米 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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（二） | 大型高技术、高附加值船舶 |
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1 | 大型绞吸挖泥船：主推进 | 生产率≥3500立方 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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系统、挖泥设备 | 米/小时 |
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| ||
| 大型耙吸挖泥船：主推进 | 泥舱容量＞10000立 |
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2 | 系统、热力系统、挖泥设 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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方米 |
| |||||
| 备 |
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3 | 独立C型液化天然气运输 | 整船舱容≥20000立 | 持有合同订单 |
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船 | 方米 |
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| 推进功率≥7000千 |
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4 | 深海远洋综合科考船 | 瓦，无限航区要求 | 持有合同订单 | 2020 |
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、具有全球航行能 |
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| 力 |
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| 推进功率≥10000千 |
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5 | 极地科考破冰船 | 瓦，无限航区要求 | 持有合同订单 | 2020 |
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、具有破冰航行能 |
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| ||||
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| 力 |
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（三） | 大功率柴油机及其他船用关键配套设备 |
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1 | 低速柴油机 | 功率≥5000kW，300 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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| ≤缸径（mm）≤500 |
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2 | 天然气及双燃料发动机 | 功率≥1000kW，缸 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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径（mm）≥200 |
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（四） | 智能化深海渔业养殖装备 |
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| 作业水深≥20米； |
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| 深海养殖平台 | 养殖容积≥3万立方 | 持有合同订单 |
| 新增 |
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| 米 |
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3
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
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八 | 高速铁路、城市轨道交通设备 |
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（一） | 时速200公里及以上高速动车组（单机用量按每列16辆编组计算） |
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1 | 转向架 |
| 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
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2 | 传动及减振装置 |
| 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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3 | 变流系统 |
| 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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4 | 牵引系统（包括牵引电 |
| 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
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机） |
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| ||||
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5 | 网络控制系统 |
| 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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6 | 高压系统（额定工作电 |
| 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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压：25kV） |
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| ||||
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| |
7 | 辅助电气系统（包括辅助 |
| 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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电源） |
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| ||||
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8 | 车体及设备 |
| 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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（二） | 大功率交流传动电力/内燃机车 |
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| 大功率交直交传动电力机 |
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| 车：电传动系统（包括牵 |
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| 引变流器）、牵引系统 |
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1 | （包括牵引变压器、牵引 | 单轴功率≥1200kW | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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| 电机）、辅助电气系统、 |
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| 高压电器、走行系统（包 |
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| 括转向架） |
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2 | 大功率内燃机车：机车柴 | 机车柴油机装车功 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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油机、转向架、电气系统 | 率≥4400马力 |
| ||||
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（三） | 铁路重载货车 | * | * |
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（四） | 大型铁路养护机械 |
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| 最高自行速度： |
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| 100km/h；最高连挂 |
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1 | 捣固车（含捣稳车） | 运行速度： | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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| 120km/h；作业效 |
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| 率：1.7～2.2km/h |
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| 最高自行速度： |
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| 100km/h；最高连挂 |
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2 | 稳定车 | 运行速度： | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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| 120km/h；最高作业 |
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| 效率：2.5km/h |
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| 最高打磨作业效 |
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| 率：15km/h；最高 |
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3 | 钢轨/道岔打磨车 | 自行速 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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度:100km/h；最高 |
| |||||
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| 连挂运行速度： |
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| 120km/h |
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| 最高作业速度： |
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| 1.1km/h；最高换枕 |
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4 | 大修列车 | 效率：20根/分；最 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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| 高连挂运行速度： |
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|
| 100 km/h |
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4
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
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| 最高自行速度≥ |
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| 80km/h；最高连挂 |
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5 | 清筛机 | 运行速度≥ | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
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| 100km/h；最高作业 |
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| 效率≥650m3/h |
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| 最高运行速度： |
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| 160km/h；接触线高 |
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| 度测量范围：5000 |
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6 | 接触网多功能综合作业车 | ～6800mm，误差： | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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2mm；双支接触线横 |
| |||||
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| 向距离测量范围：0 |
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| ～1000mm，误差： |
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| 5mm |
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| 作业速度: 0.5～ |
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| 1.8km/h；横向轮廓 |
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| 铣削精度：? |
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| 0.2mm；纵向平顺性 |
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7 | 钢轨铣磨车 | 铣削精度：10mm≤ | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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| 波长≤100mm，? |
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| 0.01mm；作业后钢 |
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| 轨顶面光洁度：≤3 |
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| μm |
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|
（五） | 高速铁路信号系统 |
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| 车载设备 | 适用于200公里及以 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
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| 上动车组 |
| ||||
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九 | 大型环保及资源综合利用设备 |
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（一） | 大气污染治理设备 |
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| VOCs浓度≤1000毫 |
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1 | 挥发性有机污染物 | 克/立方米；风量≥ | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
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| （VOCs）处理设备 | 20000N立方米/小 |
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| 时；处理效率≥95% |
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| 颗粒物粒径检测范 |
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| 围：200-2500nm； |
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| 大气PM2.5在线源解析质 | 质量分辨率：大于 |
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2 | 500FWHM； | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
| |
| 谱监测系统 | 打击效率：以粒径 |
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| |
|
| 960nmPSL小球超过 |
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| 35% |
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| 检测器分辨率： |
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|
|
|
|
| 0.0047nS/cm;单个 |
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3 | 大气在线离子色谱仪 | 阴阳离子浓度分析 | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
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|
| 范围：0.2—200μ |
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| g/m3 |
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（二） | 工业废水、城市污水、污泥处理设备 |
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（三） | 固体废弃物处理设备 |
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5
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
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| 处理量2-100吨/ |
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| 天，减量化率≥ |
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| 90%，产气量： |
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| 生活垃圾热解气化装备 | 1200-1500NM3/吨， | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
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| 尾气排放符合《生 |
| ||||
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| |
|
| 活垃圾焚烧污染控 |
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| 制标准》（GB |
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| 18485-2014） |
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（四） | 资源综合利用设备 |
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1 | 大型高炉煤气余压透平能 | 额定功率≥4000kW | 持有合同订单 |
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|
量回收利用装置 |
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| |||
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| |
2 | 低热值富余高炉煤气联合 | 额定功率≥2.5万千 | 持有合同订单 |
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|
循环发电机组 | 瓦 |
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| ||
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|
|
|
| ||
3 | 报废汽车拆解生产线 |
| 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
|
| 煤矿瓦斯发电成套设备： | 发电机组或发动机 |
|
|
|
|
4 | 瓦斯、沼气发电机组；双 | 持有合同订单 |
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| |
额定功率≥500kW |
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|
| |||
| 燃料发动机 |
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| |
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| |
| 规模化生物天燃气制备成 | 产气率≥1.0m3/m3? |
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5 | d；沼气和天然气质 | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
| |
| 套装备 | 量达到国家标准 |
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十 | 大型施工机械和基础设施专用设备 |
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| |
（一） | 大型、新型施工机械 |
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1 | 大型全断面隧道掘进机 | 刀盘直径≥6米 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
|
2 | 履带式起重机 | 最大起重量≥300吨 | 年销售量≥5台 | 2019 | 调整 |
|
3 | 全路面起重机 | 最大起重量≥200吨 | 持有合同订单 |
| 调整 |
|
4 | 混凝土泵车 | 臂架长度≥47米 | 年销售量≥100台 | 2019 |
|
|
|
| 整机重量≥30吨 | 年销售量≥80台（双 |
|
|
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|
| 臂轮履救援液压挖掘 |
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| |
| 液压挖掘机（含双臂轮履 | （双臂轮履复合救 |
|
|
| |
5 | 机、整机重量≥90吨 | 2020 | 调整 |
| ||
复合救援液压挖掘机） | 援液压挖掘机≥20 |
| ||||
| 的大型矿用液压挖掘 |
|
|
| ||
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| 吨） |
|
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| |
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| 机销售量不作要求） |
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6 | 摊铺机 | 工作宽度≥9米 | 年销售量≥10台 | 2019 | 调整 |
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7 | 铣刨机 | 铣刨宽度≥1.2米 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
|
8 | 装载机 | 额定载重≥7吨 | 年销售量≥45台 | 2019 | 调整 |
|
|
| 满载质量≥ |
|
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|
9 | 履带式全地形工程车 | 13000Kg,最高公路 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
|
|
| 行驶速度≥60km/h |
|
|
|
|
10 | 举高消防车 | 工作高度≥40米 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
|
11 | 集装箱正面吊 | 最大起重量≥45吨 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
|
|
| 车辆整备质量为≥ |
|
|
|
|
12 | 多功能除雪车 | 25吨，除雪宽度≥ | 年销售量≥200台 | 2019 | 调整 |
|
|
| 2.9米 |
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|
|
|
|
|
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|
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13 | 汽车起重机 | 最大起重量≥100吨 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
|
|
| 最大作业高度： |
|
|
|
|
|
| 11300mm；最大作业 |
|
|
|
|
14 | 全电脑凿岩台车 | 宽度：16600mm；最 | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
|
大钻孔深度：30m； |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
|
| 凿岩机冲击功率： |
|
|
|
|
|
| 大于30kW |
|
|
|
|
15 | 堆高机 | 起重重量≥9吨 | 持有合同订单 | 2020 | 新增 |
|
6
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
|
|
| 驱动系统：智能化 |
|
|
|
|
|
| 控制，闭式电控变 |
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|
|
|
|
| 量液压系统，系统 |
|
|
|
|
|
| 压力≥40MPa；工作 |
|
|
|
|
16 | 静液压传动推土机（全液 | 系统：智能化控 | 持有订单≥100台 | 2020 | 新增 |
|
压推土机） | 制，多路负载敏感 |
| ||||
|
|
|
|
| ||
|
| 电控液压系统；符 |
|
|
|
|
|
| 合U.S.EPA Tier |
|
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|
|
|
| 4F/EU StageⅣ排放 |
|
|
|
|
|
| 法规 |
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|
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|
|
（二） | 机场专用设备 |
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|
| 机场行李自动分拣系统 | 单套分拣能力大于 | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
|
| 5000件/小时 |
| ||||
|
|
|
|
|
| |
十一 | 重大工程自动化控制系统和关键精密测试仪器（待定） |
|
|
| ||
十二 | 大型、精密、高速数控设备、数控系统、功能部件与基础制造装备 |
|
| |||
| 工业级增材制造装备 |
|
|
|
|
|
|
| 激光器最大累加功 |
|
|
|
|
|
| 率≥500W，功率稳 |
|
|
|
|
|
| 定度≤?2%； |
|
|
|
|
1 | 粉末床激光增材制造装备 | 光束质量M2≤1.15； | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
|
束斑直径≤ |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
|
| 0.05mm； |
|
|
|
|
|
| 加工尺寸≥ |
|
|
|
|
|
| 120mm*120mm*80mm |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 激光功率≥4kW； |
|
|
|
|
|
| 光学质量参数BPP≤ |
|
|
|
|
|
| 65mm?mrad； |
|
|
|
|
|
| 功率稳定性≤? |
|
|
|
|
2 | 送粉式激光增材制造装备 | 2%； | 持有合同订单 | 2019 | 调整 |
|
|
| 传输光缆长度≥ |
|
|
|
|
|
| 10m； |
|
|
|
|
|
| 加工尺寸≥ |
|
|
|
|
|
| 1000mm*1000mm*500 |
|
|
|
|
|
| mm |
|
|
|
|
|
| 电子束功率≥3kW； |
|
|
|
|
|
| 加速电压≥40kV， |
|
|
|
|
3 | 送丝式电子束增材制造装 | 稳定性≤?0.2%； | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
|
备 | 成形装备加工尺寸 |
| ||||
|
|
|
|
| ||
|
| ≥ |
|
|
|
|
|
| 800mm*800mm*500mm |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
十三 | 新型纺织机械 |
|
|
|
|
|
（一） | 自动络筒机 | 卷绕速度≥1800米/ | 年销售量≥50台 |
|
|
|
|
| 分钟 |
|
|
|
|
（二） | 高效现代化成套棉纺设备 |
|
|
|
|
|
1 | 清梳联合机（梳棉机） | 最高产量＞120千克 | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
|
/小时 |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
2 | 精梳机 | 纺棉钳次≥480，纺 | 年销售量≥50台 | 2021 | 调整 |
|
化纤钳次≥300 |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
7
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
|
（三） | 非织造布成套设备 |
|
|
|
|
|
| 纺熔复合非织造布成套设 | 幅宽≥1.6米 | 持有合同订单 |
|
|
|
| 备 |
|
|
| ||
|
|
|
|
|
| |
（四） | 染色机 |
|
|
|
|
|
|
| 浴比≤1:4.5，设计 |
|
|
|
|
1 | 高温高压溢流染色机 | 温度≥140℃，设计 | 持有合同订单 |
|
|
|
|
| 压力≥3.0bar |
|
|
|
|
|
| 浴比≤1:2.5，设计 |
|
|
|
|
2 | 气流染色机 | 温度≥140℃，设 | 持有合同订单 |
|
|
|
|
| 计压力≥3.0bar |
|
|
|
|
|
| 浴比≤1:4，设计温 |
|
|
|
|
3 | 纱线染色机 | 度≥140℃，设计压 | 持有合同订单 |
|
|
|
|
| 力≥5.2bar |
|
|
|
|
十四 | 新型、大马力农业装备 |
|
|
|
|
|
（一） | 大马力轮式拖拉机 | 发动机额定功率≥ | 年销售量≥100台 | 2019 |
|
|
100千瓦 |
|
| ||||
|
|
|
|
|
| |
（二） | 自走式喷杆喷雾机 | 药箱容积≥1000升 | 持有合同订单 | 2019 |
|
|
|
| 玉米收获机采收行 |
|
|
|
|
（三） | 自走式玉米、小麦联合收 | 数≥5行或小麦联合 | 年销售量≥200台 | 2020 | 新增 |
|
获机 | 收获机喂入量≥8公 |
| ||||
|
|
|
|
| ||
|
| 斤/秒 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
十五 | 电子信息及生物医疗设备 |
|
|
|
| |
（一） | 集成电路关键设备、新型平板显示器生产设备、电子元器件生产设备、表面贴装及无铅工艺 |
| ||||
的整机联装设备 |
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
|
1 | 太阳能电池生产设备 |
|
|
|
|
|
（1） | 等离子加强型化学气相沉 | 膜厚均匀性＜5% | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
|
积设备（PECVD） |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
（2） | 低压化学气相沉积设备 | 膜厚均匀性＜7% | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
|
（LPCVD） |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
|
| 硅片（多晶、单 |
|
|
|
|
（3） | 低压扩散炉 | 晶）尺寸：156mm? | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
|
|
| 156mm，单管产能≥ |
|
|
|
|
|
| 1000片 |
|
|
|
|
|
| 膜厚均匀性＜ /- |
|
|
|
|
（4） | 原子层沉积设备（ALD) | 5%；沉积速率＞ | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
|
|
| 3.2nm/sec. |
|
|
|
|
2 | 半导体发光二极管（LED）生产设备 |
|
|
|
| |
| 金属有机化学气相沉积设 | 单腔产出率≥36pcs |
|
|
|
|
（1） | （4英寸）；波长均 | 持有合同订单 |
| 调整 |
| |
备(MOCVD） |
|
| ||||
| 匀性＜3纳米 |
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
| |
|
| 托盘尺寸：300mm及 |
|
|
|
|
|
| 以上；产能：氮化 |
|
|
|
|
|
| 钾27片及以上，蓝 | 持有合同订单，年产 |
|
|
|
（2） | 等离子刻蚀机 | 宝石22片及以上； |
|
|
| |
10台以上 |
|
|
| |||
|
| 刻蚀速率：氮化钾 |
|
|
| |
|
|
|
|
|
| |
|
| ≥120nm/min，蓝宝 |
|
|
|
|
|
| 石≥70nm/min |
|
|
|
|
（3） | 涂胶显影机 | 芯片直径50～150mm | 持有合同订单 | 2021 |
|
|
8
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
|
|
| 分辨率0.7～2微 |
|
|
|
|
|
| 米；大光谱带宽； |
|
|
|
|
（4） | 高亮度LED步进投影光刻 | 适应2-6英寸多种基 | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
|
机 | 底的曝光；可监测 |
| ||||
|
|
|
|
| ||
|
| 基底翘曲值；多种 |
|
|
|
|
|
| 背面对准配置 |
|
|
|
|
3 | 集成电路关键设备 |
|
|
|
|
|
（1） | 氧化炉 | 直径200～300mm， | 持有合同订单 | 2020 | 调整 |
|
线宽≤65nm |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
（2） | 高密度等离子刻蚀机 | 硅片直径300mm，线 | 持有合同订单 |
| 调整 |
|
宽＜65nm |
|
| ||||
|
|
|
|
|
| |
|
| 直径200～300mm， |
|
|
|
|
|
| 线宽130nm以下工艺 |
|
|
|
|
（3） | 薄膜沉积设备 | 的化学气相沉积设 | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
|
备（CVD）；线宽≤ |
| |||||
|
| 65nm的物理沉积设 |
|
|
|
|
|
| 备（PVD） |
|
|
|
|
（4） | 涂胶显影机 | 硅片直径200～ |
|
| 调整 |
|
300mm |
|
|
| |||
|
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
|
（5） | IC封装用喷/涂胶显影机 | 硅片直径200～ | 持有合同订单，年销 | 2020 | 调整 |
|
300mm | 售量≥20台 |
| ||||
|
| 分辨率1微米；大光 |
|
|
|
|
|
| 谱带宽；硅片直径 |
|
|
|
|
（6） | 集成电路先进封装光刻机 | 300mm全兼容并自动 | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
|
|
| 切换；双面对准 |
|
|
|
|
|
| (3D-TSV)；支持堆 |
|
|
|
|
|
| 叠硅片曝光 |
|
|
|
|
（7） | 退火炉 | 直径200～300mm， | 持有合同订单 |
|
|
|
线宽≤130nm |
|
|
| |||
|
|
|
|
|
| |
（8） | 合金炉 | 直径200～300mm， | 持有合同订单 |
|
|
|
线宽≤130nm |
|
|
| |||
|
|
|
|
|
| |
|
| 硅片直径150～ |
|
|
|
|
（9） | 湿法清洗机 | 300mm；单片清洗或 | 持有合同订单 |
|
|
|
批式清洗；线宽≤ |
|
|
| |||
|
|
|
|
|
| |
|
| 130nm |
|
|
|
|
|
| 生产能力6″?25 |
|
|
|
|
|
| 片；最高加热温 |
|
|
|
|
|
| 度：≥1950℃；加 |
|
|
|
|
（10） | 碳化硅高温退火炉 | 热腔温度均匀性? | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
|
|
| 10℃；升温速率： |
|
|
|
|
|
| ＞20℃/min；工艺 |
|
|
|
|
|
| 压力：1-900mbar |
|
|
|
|
|
| 生产能力：6″?25 |
|
|
|
|
|
| 片；最高加热温 |
|
|
|
|
(11) | 碳化硅高温氧化炉 | 度：≥1450℃；加 | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
|
热腔温度均匀性： |
| |||||
|
|
|
|
|
| |
|
| ?10℃；升温速 |
|
|
|
|
|
| 率：≥20℃/min |
|
|
|
|
9
编号 | 名称 | 技术规格要求 |
| 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
| |
|
| 可用于 |
|
|
|
|
|
|
|
| 150mm/200mm/300mm |
|
|
|
| ||
|
| 晶圆；照明模式： |
|
|
|
|
| |
(12) | 晶圆缺陷自动检测设备 | Dark field and |
| 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
| |
bright field；镜 |
|
| ||||||
|
|
|
|
|
|
| ||
|
| 头倍率：1X, 2X, |
|
|
|
|
| |
|
| 3.5X, | 5X, 10X, |
|
|
|
|
|
|
| 20X |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| ||
| 8～12"半导体硅单晶生长 | 12英寸300毫米硅单 |
|
|
|
| ||
(13) | 炉 | 晶棒，配横向超导 |
| 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
| |
|
| 磁场 |
|
|
|
|
|
|
4 | 新型平板显示器件生产设备 |
|
|
|
|
|
| |
（1） | AM-OLED显示屏TFT电路制 | 用于4.5代及以上工 | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
| ||
| 造用投影光刻机 | 艺线 |
|
|
|
|
|
|
（2） | 光配向设备 | 用于4.5代及以上工 | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
| ||
艺线 |
|
|
| |||||
|
|
|
|
|
|
|
| |
5 | 电子元器件生产设备 |
|
|
|
|
|
|
|
|
| 可 | 用 | 于 |
|
|
|
|
|
| 150mm/200mm/300mm |
|
|
|
| ||
|
| 硅片；硅片厚度： |
|
|
|
| ||
| IGBT激光退火设备 | Taiko ≥ 60um/Non- | 持有合同订单 | 2021 | 新增 |
| ||
|
| Taiko ≥ 150um；激 |
|
|
|
| ||
|
| 活率：＞80%；退火 |
|
|
|
| ||
|
| 深度：＞7um |
|
|
|
|
| |
（二） | 数字化医疗影像设备、生物工程和医疗生产专用设备 |
|
|
| ||||
|
| 磁场强度≥1.5T； |
|
|
|
|
| |
1 | 超导磁共振成像系统 | 冷头类型：4K； |
| 年销售量≥10台 |
|
|
| |
|
| 谱仪通道数≥16 |
|
|
|
|
| |
|
| 探测器物理排数≥ |
|
|
|
|
| |
|
| 64排； |
|
|
|
|
|
|
2 | X射线计算机断层摄影设 | 球管热容量（MHU） | 年销售量≥30台 | 2021 | 调整 |
| ||
备 | ≥4M； |
|
|
| ||||
|
|
|
|
|
|
| ||
|
| X线发生器功率≥ |
|
|
|
|
| |
|
| 28kW |
|
|
|
|
|
|
|
| 一体化机架； |
|
|
|
|
| |
|
| 晶体条横截面≤ |
|
|
|
|
| |
| 正电子发射及X射线计算 | 4.5mm?5.0mm； |
|
|
|
|
| |
3 | CT排数不低于64 |
| 持有合同订单 |
| 调整 |
| ||
| 机断层成像扫描系统 | 排； |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
| CT球管热容量 |
|
|
|
|
| |
|
| （MHU）≥4M |
|
|
|
|
| |
|
|
|
|
|
|
|
| |
|
| 探测器尺寸≥23? |
|
|
|
|
| |
|
| 29cm； |
|
|
|
|
|
|
|
| 探测器矩阵≥1000 |
|
|
|
|
| |
|
| 万； |
|
|
|
|
|
|
4 | 数字乳腺X射线机 | 探测器分辨率≥ |
| 年销售量≥10台 | 2021 | 调整 |
| |
5.81p/mm； |
|
| ||||||
|
|
|
|
|
|
| ||
|
| 球管阳极热容量≥ |
|
|
|
|
| |
|
| 300kHU； |
|
|
|
|
| |
|
| 高压发生器功率≥ |
|
|
|
|
| |
|
| 4.5kW |
|
|
|
|
|
|
10
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
|
|
| 激光发射通道数量 |
|
|
|
|
|
| ≥9； |
|
|
|
|
5 | 乳腺超声光散射诊断系统 | 探测器数量≥10； | 年销售量≥10台 |
| 调整 |
|
激光发射波段≥2； |
|
| ||||
|
|
|
|
|
| |
|
| 双模式（超声学 光 |
|
|
|
|
|
| 学）复合探头 |
|
|
|
|
|
| 球管焦点0.6/1.2； |
|
|
|
|
|
| 高压发生器50- |
|
|
|
|
6 | 医用数字X射线机（DR） | 80kW； | 年销售量≥12台 | 2021 | 调整 |
|
|
| 平板探测器分辨率 |
|
|
|
|
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| ≥3.50LP/mm |
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| 与磁共振或CT系统 |
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| 的兼容（同时成像 |
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| 和引导）； |
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| 磁共振或CT引导术中实时 | 术前规划、术中实 |
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7 | 时导航； | 年销售量≥15台 |
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导航设备 |
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| 术中整体导航精度 |
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| ≤2mm； |
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| 在500高斯线下实现 |
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| 磁共振兼容 |
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| X线最高能量≥ |
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| 6MV； |
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| 剂量率≥ |
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8 | 医院电子直线加速器 | 400cGy/min； | 持有合同订单 | 2021 | 调整 |
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多叶准直器最小叶 |
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| 片宽度≤10mm |
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| 具影像引导功能 |
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| 支持动态调强功能 |
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| 透析液温度控制精 |
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| 度：?0.5℃； |
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| 透析液电导率控制 |
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| 精度：? |
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9 | 血液透析机 | 0.1mS/cm； | 年销售量≥500台 | 2020 | 调整 |
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| 超滤脱水控制精 |
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| 度：?30ml/h； |
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| 具有在线血液透析 |
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| 滤过功能 |
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十六 | 民用飞机及发动机、机载设备 |
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（一） | 固定翼飞机与直升机、机载设备 |
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1 | 50座级涡桨支线飞机（整 | 最大起飞重量≥20 | 持有合同订单 |
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机） | 吨 |
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2 | 70座级涡桨支线飞机（整 | 最大起飞重量≥ |
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|
机） | 26.5吨 |
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11
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
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| 总装及以下机体结构： |
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| （1）总装；（2）机头； |
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| （3）中机身、机翼； |
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| （4）中后机身、后机身 | 为生产70座级涡桨 |
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| 、尾翼；（5）发动机短 | 支线飞机配套 |
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|
| 舱、发动机支架；（6） |
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|
| 前机身；（7）雷达罩、 |
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|
| 天线罩；（8）机载成品 |
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3 | 新型涡扇支线飞机（整 | 最大起飞重量≥38 | 持有合同订单 |
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|
机） | 吨 |
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| ||
| 总装及以下机体结构： |
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|
|
| （1）总装；（2）机头； |
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| （3）机身、机翼；（4） | 为生产新型涡扇支 |
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| 后机身、垂尾、吊挂、电 |
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| 调整 |
| |
| 线飞机配套 |
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| ||
| 气组件；（5）雷达天线 |
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| |
| 罩；（6）航材备件； |
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| （7）飞行模拟机 |
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4 | 5座单发涡桨轻型公务机 | 最大起飞重量≥2.6 | 持有合同订单 |
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|
（整机） | 吨 |
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| ||
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| ||
|
| 最大起飞重量≥5.5 |
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5 | 19座级双发涡桨通用飞机 | 吨 | 持有合同订单 |
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|
（整机） | 获得CAAC型号合格 |
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| ||
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| ||
|
| 证（TC） |
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| 最大起飞重量≥2.2 |
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6 | 2吨级民用直升机（整 | 吨 | 持有合同订单 |
|
|
|
机） | 获得CAAC型号合格 |
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| ||
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|
|
| ||
|
| 证（TC） |
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|
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|
| 最大起飞重量≥3.1 |
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|
| 吨 |
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7 | 4吨级民用直升机（整 | 获得CAAC型号合格 | 持有合同订单（新研 |
|
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|
机） | 证（TC）（CAAC型 | 制产品暂不作要求） |
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| |
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| |||
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| 号合格证对新研制 |
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|
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|
| 产品不作要求） |
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8 | 7吨级民用直升机（整 | 最大起飞重量≥6.7 |
|
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|
机） | 吨 |
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| |
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|
|
| ||
|
|
|
|
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|
| 最大起飞重量≥13 |
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|
9 | 13吨级民用直升机（整 | 吨 | 持有合同订单 |
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|
|
机） | 获得CAAC型号合格 |
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| ||
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|
|
|
| ||
|
| 证（TC） |
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10 | 大型水陆两栖飞机 | 最大起飞重量≥ |
|
| 调整 |
|
53.5吨 |
|
|
| |||
|
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|
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12
编号 | 名称 | 技术规格要求 | 销售业绩要求 | 执行年限 | 修订说明 |
|
| 总装及以下机体结构： |
|
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|
|
|
| （1）总装；（2）机头； |
|
|
|
|
|
| （3）中机身、机翼； |
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|
|
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|
| （4）中后机身、后机身 | 为生产大型水陆两 |
|
| 调整 |
|
| 、尾翼；（5）发动机短 | 栖飞机配套 |
|
|
| |
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|
|
|
| ||
| 舱、发动机支架；（6） |
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| 浮筒；（7）雷达罩、天 |
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|
| 线罩；（8）通讯导航 |
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|
（二） | 发动机、机载设备 |
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| 起飞功率≥ |
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1 | 涡轴发动机（整机） | 1240kW；最大连续 |
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功率≥1100kW，基 |
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| ||
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|
| |
|
| 准重量≤220千克 |
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|
| 直升机尾传动系统（整 | 功率：550kW；为7 |
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2 | 吨级民用直升机配 |
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| |
机） |
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| ||
| 套 |
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| |
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十七 | 重大技术装备的基础件 | * | * |
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（一） | 大型铸锻件 | * | * |
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|
（二） | 基础部件 | * | * |
|
|
|
（三） | 加工附具 | * | * |
|
|
|
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