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四端子压实密度电阻率测试仪

四端子压实密度电阻率测试仪 ；适用行业：:

用于：企业、高等院校、科研部门对导电陶瓷、硅、锗单晶（棒料、晶片）电阻率、测定硅外延层、扩散层和离子注入层的方块电阻以及测量导电玻璃（ITO）和其它导电薄膜等新材料方块电阻、电阻率和电导率数据.

双电测四探针仪是运用直线四探针双位测量。设计参照单晶硅物理测试方法并参考美国 ；A.S.T.M ；标准。

适用范围

● ；使?四探针治具测试?状或块状半导体材料、?属涂层以及导电薄膜等材料的?阻和电阻率

● ；使?开尔?测试夹直接测试电阻器直流电阻；

原理： .

. 核心：开尔文四线法（四端子法） . ：

一对电极（C1， ；C2）施加恒定电流（I）。

另一对电极（P1， ；P2）位于接触界面附近测量电压降（V）。

. 接触电阻 ；Rc = V / I .  ；（消除了引线电阻和部分体电阻）。

. 专用夹具： .  ；精确控制接触压力（通过砝码、气动、伺服电机），稳定固定样品。

. 微电流/电压测量： .  ；使用精密源表（SMU）或微欧计提供稳定电流（通常几mA~几A），测量 ；μV ；级电压。

. 接触电阻率（ρc）估算难点： .

. 有效接触面积（A）未知： .  ；宏观接触是多个微观接触点的集合，真实 ；A ；远小于表观面积。

. 解决方法： .

在 . 不同可控压力下 . 测量 ；Rc（压力↑ → ；接触点数量/面积↑ → Rc↓）。

结合 . 接触力学模型 . （如 ；Holm ；模型）估算平均接触面积（复杂，多为研究用）。

. 工业实践通常直接报告接触电阻（Rc）值及其测试条件（压力、电流） . ，作为可靠性指标。ρc ；较少直接报告。

参数

1. 便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；

2. 基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。

3. 精度高：电阻基本准确度： 0.01％；

方阻基本准确度：1%；

电阻率基本准确度：1%

4. 整机测量最大相对误差：≤?1%；整机测量标准不确定度：≤?1%

5. 四位半显示读数；十量程自动或手动测试；20mΩ/200mΩ/2000mΩ/20Ω/200Ω/2000Ω/20kΩ/200kΩ/2000ΚΩ/10ΜΩ ；10档分选；实现HIGH/IN/LOW分选

6. 测量范围宽： 电阻：10-7Ω～10 8Ω ；方阻：10-7Ω/□～10 8Ω/□；

7. 正反向电流源修正测量电阻误差

8. 恒流源：电流量程为：DC100mA-1A；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。

9. 可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。

10. 校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。

11. 厚度可预设，自动修正样品的电阻率，无需查表即可计算出电阻率。

12. 自动进行电流换向，并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量，显示平均值.测薄片时，可自动进行厚度修正。

13. 双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.

14. 具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。

15. 比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。

16. 测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。

17. 软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分

析。

18.显示语言 英文/中文

19.供电模式110v/220v

半导体接触电阻率（ρc）： .

. 必须制备 ；TLM ；或 ；CBKR ；测试结构（光刻）。 .

. 核心仪器：半导体参数分析仪（Keysight B1500A/B1505A， Keithley 4200A-SCS） ；  ；精密探针台。 .

. 宏观接触电阻（Rc）测量（连接器、开关等）： .

. 核心方法：开尔文四线法（消除引线电阻）。 .

. 核心设备： .

. 高精度源表（SMU）如 ；Keithley 2450 ；或精密微欧计（如 ；IET RMO）。 .

. 专用的、符合标准（如 ；EIA-364-23C）的接触电阻测试夹具（关键！需精确压力控制）。 .

. 工业质检首选： .  ；考虑集成化的专用接触电阻测试仪（如菊水PCR）。

. 报告 ；ρc ；的挑战： .  ；宏观接触中，有效接触面积难以精确测定， . 直接报告 ；Rc ；及其测试条件（压力、电流）是工业通行做法 . 。需 ；ρc ；时通常限于微观可控结构（如半导体）或研究场景。

. 选择前务必详细说明：测量对象（具体是什么接触界面）、目标参数（Rc/ρc）、精度要求、压力范围、是否需要符合标准以及预算范围。这将有助于推荐最合适的仪器配置（硬件 夹具）。

范围：

1本试验方法包含直流绝缘电阻，体积电阻和表面电阻的测量所用直流程序。通过该测量及样本和电极的几何尺寸，可以计算出电绝缘材料的体积电阻和表面电阻，同时还可以计算出相应的电导和电导率。

2这些试验方法不适用于测量中等导电材料的电阻/电导。这些材料评估可采用试验方法D4496。

3本标准描述了几种可选择的测量电阻（或电导）的普通备用方法。特殊材料科采用合适的标准ASTM试验方法进行测试，这些特殊材料具有电压应力范围和有限起电时间，同时规定了样本结构和电极几何形状。这些个别特殊试验方法将能更好得定义测量值的精度和偏差。

4本标准并没有完全列举所有的安全声明，如果有必要，根据实际使用情况进行斟酌。使用本规范前，使用者有责任制定符合安全和健康要求的条例和规范，并明确该规范的使用范围。

电导率与电阻的关系

R=ρl=l/σ

(1)定义或解释 电阻率的倒数为电导率。σ=1/ρ (2)单位: ；在国际单位制中，电导率的单位是西门子/米。 ；(3)说明 电导率的物理意义是表示物质导电的性能。电导率越大则导电性能越强，反之越小。

测量原理与方法： .

四探针法： .

最主流、最推荐的碳素材料块体/薄膜测试方法。 .

优点： .  ；有效消除接触电阻和引线电阻的影响，测量精度高，尤其适合中等电阻率材料（碳素材料大多在此范围）。

缺点： .  ；需要样品表面平整，探针间距需精确（或已知），边缘效应需修正（尤其是小样品）。

类型： .  ；直线四探针（最常用）、方形四探针（范德堡法，适合不规则薄片）。

两电极法 ；  ；四线制： .

在样品两端施加电流电极，在更内侧测量电压电极。

优点： .  ；接线相对简单，可通过四线制消除引线电阻影响。

缺点： .  ；电流分布不如四探针均匀，接触电阻仍可能对电压测量点有影响（尽管四线制已大幅降低），精度通常低于四探针法。适用于电阻率较高或较低，或形状受限的样品。

非接触法（涡流法）： .

优点： .  ；完全无损，无需接触样品，速度快，适合在线或快速筛查。

缺点： .  ；测量精度通常低于接触法（尤其对薄层或复杂形状），需要校准标准样品，测量的是“等效电阻率”，受材料磁导率、厚度、表面状况影响较大。更适合均匀导体（如金属箔）。

阻抗分析法： .

施加交流信号，测量复数阻抗。

优点： .  ；可以区分材料的电阻分量和电容/电感分量（对某些复合碳材料有用），可选择合适频率避免极化效应。

缺点： .  ；仪器更复杂，数据分析更复杂，主要用于研究而非单纯电阻率测量。

金属的电阻率较小，合金的电阻率较大，非金属和一些金属氧化物更大，而绝缘体的电阻率极大。锗、硅、硒、氧化铜、硼等的电阻率比绝缘体小而比金属大，我们把这类材料叫做半导体(semiconductors)。

总结：常态下（由表可知）导电性能 ；好的依次是银、铜、铝，这三种材料是 ；常用的，常被用来作为导线等。银的价格偏贵，因此铜用的 ；为广，几乎所有应用的导线都是铜制作的（精密仪器、特殊场合除外）。铝线由于化学性质不稳定容易氧化已被淘汰。由于铝密度小，取材广泛，且价格比铜便宜，被广泛用于电力系统中传输电力的架空输电线路。为解决铝材刚性不足缺陷，一般采用钢芯铝绞线，即铝绞线内部包有一根钢线，以提高强度。银导电性能 ；好，但由于成本高很少被采用，只有在高要求场合才被使用，如精密仪器、高频震荡器、航天等。在某些场合仪器上触点也有用金的，因为金的化学性质稳定，并不是因为其电阻率小所致。

以下是关于高温电阻率测试仪的综合信息整理：

一、主要功能与技术特点

. 测量原理 . ：普遍采用三电极法设计，符合《GB/T 10518-2006》标准，可测量绝缘材料在高温下的电阻和电阻率，适用于陶瓷、硅橡胶、PCB等材料。

. 温度范围 . ：部分型号支持-160℃至1000℃宽温域测试，控温精度可达?0.5℃。

. 安全设计 . ：具备过压、过流、超温保护及断电数据保存功能，确保测试安全性和数据完整性。

. 抗干扰能力 . ：采用三轴连接器和屏蔽技术，测量分辨率高达1fA（10^-15 A）。

二、典型应用场景

. 材料研究 . ：半导体材料（如硅、砷化镓）、绝缘材料（云母、四氟材料）的电阻率随温度变化分析。

. 工业检测 . ：耐火材料、碳素制品的高温导电性能评估

选购建议

. 科研需求 . ：优先选择支持变温、恒温模式及数据曲线分析的型号（如HTIM系列）。

. 工业场景 . ：注重设备耐用性和环境适应性（如德力西接地电阻测试仪，耐高温设计）电商榜单^。

品质保证：

一年保修，终身维护！

北广产品销往北京、上海、广东、河南、浙江、河北、江苏、湖南、内蒙、山东、四川、广州、江西、西北、云南、深圳、吉林、南京、嘉兴、佛山、苏州、杭州、西安、潥阳、长春、江苏、平顶山、安徽、金水、金华、海南、廊坊、天津、成都、扬州、东莞、济南、南通、株洲、保定、贵州、宜兴、嘉兴、黑龙江、漳州、成都、重庆、咸阳、济南、绍兴、杭州、拉萨、山西、惠州、沧州、江西、沈阳、武汉、沈阳、昆明、鹤山、许昌、青海、宁波、醴陵、淄博、瑞安、阜新、合肥、长沙、常州、瑞安、青岛、无锡、济宁、醴陵、厦门、河源、乐清、烟台、福州、龙口、徐州、唐山等地销售。

注意事项1、该仪器初始的包装材料需小心保存，安装需由本公司的专业技术人员进行操作。2、若仪器由于任何原因必须返修，必须将其装入原纸箱中以防运输途中损坏。3、在开机前，操作者要首先熟悉操作方法。

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